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BX53M奥林巴斯金相显微镜

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产品详情

技术规格

奥林巴斯BX53M为传统的工业显微镜检查而设计,并扩展了其功能,以满足更广泛的应用和检查技术的要求。奥林巴斯公司具有生产光学元件的悠久历史,无论用目镜观察,还是通过显示器观察,都具备*的图像画质。
全面可定制性模块化设计可以为用户灵活地构建满足其特殊要求的系统。
显微检查任务常常需要用很长的时间来调节显微镜设置、获取图像,以及进行必要的测量,从而得到令人满意的报告。用户有时需要投入时间和金钱去完成专业的显微镜培训,或只了解了显微镜全部功能的很小部分就开展工作。

奥林巴斯BX53M通过其优良的设计和便捷的控制功能,简化了复杂的显微检查任务。用户不需要长时间的培训即可掌握显微镜的大多数功能。BX53M方便而舒适的操作还改善了图像的再现性,最大程度减少了人为错误。

暗场观察
暗场能够观察标本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都会反射这种光,而平整的部位则显得很暗,因此缺陷部位就会清晰地显示出来。用户甚至可以识别出极细微的划痕,或小到8nm级别的缺陷 – 比光学显微镜的分辨能力还要小。因此,暗场是检测标本上细微划痕或缺陷,以及镜面标本(包括晶圆)的理想工具。

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微分干涉观察
微分干涉是一种显微镜观察技术,这种技术把明场观察所不能检测到的标本高度差,变为浮雕状或三维图像,改善了图像衬度。该技术使用了偏光,并有三种专门定制设计的棱镜可以选择。它是检查具有极细微高度差的标本的理想工具,包括金相组织、矿石、磁头、硬盘介质和抛光晶圆表面。

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偏光观察
这种显微镜观察技术使用了由一套滤色片(检偏镜和起偏镜)产生的偏光。标本的特性直接影响显微镜反射光的强度。这种技术适用于金相组织(比如球墨铸铁上石墨生长的形态)、矿石、LCD和半导体材料。

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荧光观察
该技术用于通过专用滤色片激发块照明,使标本能够发出荧光(发出不同波长的光),特定的激发块可用于特定的应用。它适合于检查半导体晶圆上的异物、光阻残留物,以及通过荧光染料检测裂缝。可以选配复消色差集光镜系统的灯箱,以补偿从可见光到近红外光的色差。

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红外光观察
IR观察是非破坏性地检查可以透过红外光的硅材料或玻璃材料构成的电子元器件内部的方法。

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透射光观察
对于透明样品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各种聚光镜进行透射光观察。组建一个光学系统,实现透射光明场和偏光进行样品检查非常方便。

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奥林巴斯BX53M规格(用于反射和反透射组合的金相观察)

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

显微镜机架

照明

反射/透射

反射

对焦

行程:25 mm
每转的微调行程:100 μm
最小刻度:1 μm
配有上限限位器,>于粗调手柄的扭力调节

行程:30 mm
每转的微调行程:200 μm
最小刻度:2 μm
配有用于粗调手柄的扭力调节

最大样品高度

35 mm (不含高度适配器)
75 mm (
BX3M-ARMAD)

65 mm (不含高度适配器)
105 mm (
BX3M-ARMAD)

取决-安装配置

观察筒

宽视野FN22

倒像:双目、三目、倾斜式双目
正像:三目、倾斜式双目

超宽视野FN26.5

倒像:三目
正像:三目、倾斜式三目

反射光照明

常规观察技术

BX3M-RLAS-S
编码,白光LEDBF/DF/DIC/POL/MIX FSAS(带对中装置)
BX3M-KMA-S
白光LEDBF/DIC/POL/MIX FSAS(带对中装置)
BX3M-RLA-S
100W/50W
卤素灯,白光LEDBF/DF/DIC/POL/MIX FSAS(带对中装置), BF/DF切换时中密度滤色片联动

-

U-KMAS
白光LED100W卤素灯
光纤照明,BF/DIC/POL/MIX

荧光

BX3M-URAS-S
100W汞灯,4孔位分光B, G, U+BF)
FS
AS(带对中装置),带光闸装置

透射光

白光LED
阿贝/长工作距离聚光镜

-

物镜转换器

用于BF

六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

用于BF/DF

六孔,五孔,对中五孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

载物台

同轴左手(右手)操作载物台:
76mm×52mm
,采用扭力调节
大型同轴左手(右手)操作载物台:
100mm×105mm
,带Y轴锁定装置
大型同轴右手操作载物台:
150mm×100mm
,带扭力调节和Y轴锁定装置

-

重量

大约18.3 kg
(显微镜机架7.6 kg

大约15.8 kg
(显微镜机架7.4 kg

大约11.1 kg
(显微镜机架1.9 kg

BX53M规格(用于红外观察)


BX53MRF-S

BXFM

IR观察筒

宽视野FN22

倒像:三目

反射光照明

IR观察

BX3M-RLA-S IR用100W/50W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置)
BX3M-URAS-S IR用100W/50W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置)

U-KMAS
IR
用100W/50W卤素灯,BF/IR

物镜转换器

用于BF

六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

Stage (X × Y)

同轴左手(右手)操作载物台:
76mm×52mm,采用扭力调节
大型同轴左手(右手)操作载物台:
100mm×105mm,带Y轴锁定装置
大型同轴右手操作载物台:
150mm×100mm,带扭力调节和
Y轴锁定装置

重量

大约18.9 kg(显微镜机架7.4 kg)

大约11.6 kg(显微镜机架1.9 kg)

BX53M规格(用于偏光观察)


BX53MTRF-S

偏光中间附件
(U-CPA或U-OPA)

宽视野FN22

倒像:双目、三目、倾斜式双目
正像:三目、倾斜式双目

勃氏镜

可对焦(仅适用于U-CPA)

勃氏镜视场光阑

直径Ø3.4mm(固定)(仅适用于U-CPA)

切换正像镜检和锥光镜检时加入或退出勃氏镜

滑块位置 ● 进入
滑块位置 ○ 退出 (仅适用于U-CPA)

检偏镜插槽

旋转式检偏镜插槽(U-AN360P-2)

检偏镜(U-AN360P-2)

可旋转360°的拨盘 ,可旋转的最小角度0.1°

对中式物镜转换器(U-P4RE)

四孔,附对中装置:1/4λ偏振片(U-TAD),
试板(U-TP530) 和各种补色器均可连接补色器适配器(U-TAD)使用。

载物台(U-SRP)

带3点对中功能的偏光专用旋转载物
可旋转360°,可锁定在任何位置,360°每刻度递增1°
(最小分辨率6’,使用游标尺)
45°锁定功能 可安装移动标本夹(U-FMP)

聚光镜(U-POC-2)

色差无应力聚光镜(U-POC-2),带外摆式消色差顶部透镜的可旋转360°起偏镜。 “0°”刻度处的锁定机构可调节。
NA0.9(顶部镜头内摆) NA0.18(顶部镜头外摆)
径光阑:直径从2mm到21mm可调节

重量

大约16.2 kg(显微镜机架7.6 kg)



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